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第六百六十章 精度再次突破的机会 求订阅（第2页）

这个好点子就是许振鸣刚才想起来的，国际上许多机床公司都已经使用的方法。

用软件的方法建立机床数据模型，在计算机软件里论证好，再开始制造机床，速度快，研发成本还少了许多。国外都是用这种方法设计机床，而我们国内还没有这方面的研究，差距可想而知。

“嗯…许董的这个方法是比较好。我们还可以把试验数据库代入数据模型算法里。”洪爱国很显然已经听懂许振鸣的也是，激动的笑道。

不多时，他们来到一个恒温、无尘的试验车间。

这车间里有一个类似卧式加工中心的平台。平台上有两个安装工位的小平台，加工面非常光滑，用镜面来形容也不为过。

这座平台式的机构，就是光刻机的基础平台系统，上面将要安装两个工位。一个工位用来光刻硅晶圆片，一个工位用于检测晶圆片。

这种方式的加工方法，就叫双工光刻机，目前全球都没有这种设备。一鸣集团公司的这台KrF光刻机若是能研发成功，便是全球第一台双工位光刻机。

这事想想都让人激动，但实现起来难度非常大！

光刻机的基础平台对准精度特别高，要求做到0.003-0.01微米，全球有几家企业能做到？

是以，不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统，每一个备件都加工件，精度要求都非常高。

许振鸣把李尧喊来，就是让他参与改进主传动机构的改进工作，把空气轴承应用到光刻机的平台里。

“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗？”听完许振鸣的介绍，李尧彻底震惊了。他是听许振鸣说过要做光刻机，但不知道光刻机的精度要求会如此之高。

0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念？用肉眼根本看出来有偏差，只能通过激光定位系统来测量误差。

而这种精度的测距仪器，国内目光好像还没有，只有一鸣集团公司利用进口元件制作了几套在使用。即便长弓集团公司这样的重点单位也没有，只能从一鸣集团公司来订购。

所以说，李尧根本没听说过，也没见过这种高精度的测量仪器。他满腹狐疑的看着许振鸣，心中暗道：“我们集团公司能做出这种精度的设备么？”

许振鸣好像能看懂李尧的内心想法。

“李尧，你不用管其他的问题，只要把空气轴承给我提供过来就行。光刻机的基座平台对震动量要求特别高，我们已经采用液压油系统来减震，跟流体轴承的原理非常相似。”

许振鸣朝李尧一挥手，让他不要把注意力放在其他地方。

他告诉李尧不要小看这种平台机构。通过液压油和空气室的缓冲机构，已经把平台运动时的震动量减少到最低限度。

听完这番介绍，李尧倒是给许振鸣提出一个好注意：“许董，按照流体力学的原理来说，我建议这台设备的减震系统全部用纯净级的液压油。空气和液压混用不合适，热膨胀系统不同，会影响精度。”

这方面的技术他比较内行，在发明流体轴承的时候，对各种流体介质都做过试验。

听到这话，洪爱国顿时来了精神。

“李总，你能不能把你的流体介质试验数据库给我们一份？若那样，我们会少走许多弯路。”他微笑着看向李尧，虽然知道自己的要求有点过分，却还是提出这种无理的要求。

这些流体介质试验数据是李尧十几二十年的心血，流体轴承专利技术的支持数据。一般情况下，李尧怎么肯能会跟他人分析数据？

所以说，洪爱国提出这个要求以后，也感到有点不好意思，目光又转向许振鸣。他希望许振鸣能帮他说句话，把李尧的数据拿到手。

但许振鸣怎么能说出这种要求？这跟桂长树问他要芯片Foundry的制程工艺技术一样，许振鸣会同意吗？

是以，许振鸣只能笑了笑，拿出手机准备给胡明镇打电话。他想要这台光刻机的设计人胡明镇来听听李尧的意见，把这台光刻机的传动机构原理和减震系统原理再修改一下。

这时候，李尧却做出一个让许振鸣的很意外的决策。

“好啊洪厂长，我回去以后就给你发传真，把流体介质的试验数据发给你。”他笑得很轻松，根本没有保守技术秘密的想法。

李尧的这番举措让许振鸣很感动，“我没看错人。多给这位书呆子型的工程师一些股份，是完全正确的。”

想到这些，许振鸣立即拨通胡明镇的手机号码，让胡明镇快点来数控机床厂的试验厂房里讨论技术问题。

不久以后，胡明镇带着几名团队人员，急匆匆的赶来。

他们这些人都面带喜色，好像碰到什么开心的事情。许振鸣也看出来了，因为有李尧在场，他没有多问。

“胡总，这位是李尧，流体力学的专家。他发明的流体轴承技术，应该属于世界一流的技术。”许振鸣把李尧介绍给胡明镇，让胡明镇一起加入技术讨论的团队。

总之一句话，因为光刻机的光源系统会延迟，这台KrF光刻机的基础系统可以重新设计，或者修改设计传动机构和减震系统。

听完这番介绍，胡明镇顿时喜滋滋的笑了起来，“李总，欢迎你给我们上课，传授流体力学的知识。”

说完这些客气话，他就不再客套了，把光刻机基础系统的图纸打开，请李尧一起审图，一起讨论技术问题。

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